微細加工技術雜志基礎信息：

《微細加工技術》雜志創刊于1983年，是國家科委和國家新聞出版署批準，國內外公開發行的中央級重要科技期刊。

微細加工技術雜志期刊榮譽：

《微細加工技術》雜志是國家一級檢索刊物，已連續9年被美國工程信息公司Ei數據庫收錄，是《中國期刊網》、《中國學術期刊（光盤版）》、《中國學術期刊綜合評價數據庫》全文收錄用刊，是《中國科學引文數據庫》來源期刊。

微細加工技術雜志欄目設置：

本刊主要欄目：綜述、電子束技術、離子束技術、光子束技術、薄膜技術、微機械加工技術、納米技術。

微細加工技術雜志訂閱方式：

ISSN：1003-8213，CN：43-1140/TN，地址：長沙市新開鋪路1025號48所湯輝收，郵政編碼：410111。

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（五）標題層次一級標題用“一、二、……”來標識，二級標題用“（一）、（二）、……”來標識，三級標題用“1.2.”來標識，四級標題用“（1）、（2）”來標識。一般不宜超過4層。標題行和每段正文首行均空二格。各級標題末尾均不加標點。

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（七）參考文獻

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微細加工技術雜志社編輯部征稿用過濾式電弧沉積系統制備類金剛石薄膜三元硅化物(CoxNil-x)Si2薄膜的制備及特性亞微米分步重復投影光刻機總體設計考慮的幾個問題紫外光寫入的光纖Bragg光柵電子束偏放輸出溫度漂移的自動補償0.1微米電子束曝光機成像系統的計算激光直寫系統制作掩模和器件的工藝LIGA技術制作Fresnel波帶片的研究金屬型場發射陣列的研究一種微摩擦力光學測試方法SU-8環氧樹脂的分離實驗研究利用等離子體表面預處理改善光掩模IP膠顯影工藝特性多層薄膜微結構熱應力計算脈沖電鍍制備硅基細晶鎳鐵合金薄膜PECVD法制備的ZnO薄膜結晶性能的影響采用氨化技術制備成簇生長的光滑線狀氮化鎵痕量爆炸物爆燃探測敏感元件的結構設計新型壓電微噴的研制硅柵干法刻蝕工藝中腔室表面附著物研究MEMS微電磁驅動器磨損對光開關性能的影響分析